在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，工藝氣體的純凈度、輸送穩(wěn)定性，以及設(shè)備的安裝維護(hù)，往往會(huì)給企業(yè)帶來不少困擾。比如芯片批次報(bào)廢、設(shè)備頻繁檢修、安裝耽誤工期等問題，不僅影響生產(chǎn)效率，還會(huì)增加運(yùn)營(yíng)成本。深圳恒歌 TF 系列工藝氣體專用過濾器，正是針對(duì)這些實(shí)際難題設(shè)計(jì)，讓半導(dǎo)體企業(yè)用上之后，能切實(shí)擺脫困擾，專注提升生產(chǎn)效益。?

1、不用再擔(dān)心芯片因微粒報(bào)廢，良率穩(wěn)定提升?

不少半導(dǎo)體企業(yè)都遇到過這樣的情況：某一批次芯片生產(chǎn)到一半，突然發(fā)現(xiàn)工藝氣體中混入了微粒，導(dǎo)致芯片表面出現(xiàn)缺陷，整批產(chǎn)品只能報(bào)廢，損失少則幾十萬(wàn)，多則上百萬(wàn)。這背后，往往是過濾器無法精準(zhǔn)清除 UHP 超純氣流中的微粒，或者過濾效果不穩(wěn)定導(dǎo)致的。?

用上深圳恒歌 TF 系列過濾器后，這個(gè)問題就能徹底解決。不管是 F 型直通式、T 型氣體過濾器，還是 W 型一體式過濾器，都能精準(zhǔn)攔截超純氣流中的微粒，哪怕是 0.5μm 的微小雜質(zhì)也能被牢牢擋住。而且每臺(tái)過濾器出廠前都會(huì)經(jīng)過兩道嚴(yán)格檢測(cè)，確保過濾元件沒有破損、密封沒有泄漏，過濾效果始終穩(wěn)定。就像某半導(dǎo)體晶圓廠，之前每月因微粒污染導(dǎo)致的芯片報(bào)廢率有 2.8%，換用 TF 系列過濾器后，報(bào)廢率直接降到了 0.3% 以下，每月少損失近百萬(wàn)元，良率穩(wěn)定在行業(yè)前列，再也不用為微粒問題焦慮。?

2、安裝不用再等焊接，工期縮短還不擔(dān)心泄漏?

傳統(tǒng)過濾器安裝時(shí)，需要焊接氣路，不僅費(fèi)時(shí)間，還得擔(dān)心焊接過程中產(chǎn)生的雜質(zhì)混入氣路，影響氣體純凈度;更麻煩的是，焊接點(diǎn)一旦沒處理好，后續(xù)容易出現(xiàn)泄漏，又得停工檢修。很多企業(yè)都因?yàn)榘惭b過濾器，耽誤了整體生產(chǎn)線的調(diào)試進(jìn)度，后續(xù)還得投入人力物力排查泄漏問題。?

而深圳恒歌 TF 系列過濾器的安裝特別簡(jiǎn)單，不用焊接，只需要把過濾器和氣路對(duì)接好，再用螺母緊固就行。單臺(tái)過濾器安裝時(shí)間從原來的 2 個(gè)多小時(shí)，縮短到 30 分鐘以內(nèi)，大大加快了工期。而且螺母緊固的密封方式經(jīng)過了嚴(yán)格的氨氣檢漏測(cè)試，不會(huì)出現(xiàn)泄漏問題。某半導(dǎo)體封裝廠在生產(chǎn)線擴(kuò)建時(shí)，用了 F 型直通式過濾器，整個(gè)氣路安裝工期比計(jì)劃提前了 5 天，后續(xù)生產(chǎn)中也沒出現(xiàn)過一次因過濾器泄漏導(dǎo)致的停工，省了不少人力和時(shí)間成本。?

3、高壓高溫工況下不用頻繁修設(shè)備，維護(hù)成本大減?

半導(dǎo)體生產(chǎn)中的離子注入、高壓化學(xué)氣相沉積等工藝，需要在高壓、高溫環(huán)境下進(jìn)行，普通過濾器在這種工況下，用不了多久就會(huì)出現(xiàn)閥體變形、密封失效等問題，平均 3 個(gè)月就得換一次，不僅要花設(shè)備采購(gòu)費(fèi)，還得停工維護(hù)，影響生產(chǎn)進(jìn)度。很多企業(yè)都覺得，高壓高溫工況下的過濾器維護(hù)，就是一筆 “冤枉錢”，但又不得不花。?

深圳恒歌 TF 系列過濾器用的是頂級(jí) 316L 不銹鋼，耐得住高溫、扛得住高壓，在 – 28~+482℃的溫度范圍和最高 414bar(6000psig)的壓力下，都能穩(wěn)定運(yùn)行，不容易出現(xiàn)故障。像 T 形氣體過濾器，很多半導(dǎo)體芯片廠用了之后，設(shè)備維護(hù)周期從 3 個(gè)月延長(zhǎng)到了 1年多，每年節(jié)省的維護(hù)費(fèi)用超 10 萬(wàn)元，還少了很多因設(shè)備故障導(dǎo)致的停工損失。而且 316L 不銹鋼耐腐蝕性強(qiáng)，哪怕工藝氣體中有腐蝕性成分，也不會(huì)輕易損壞，設(shè)備使用壽命比普通過濾器長(zhǎng) 4-6 倍，長(zhǎng)期用下來特別劃算。?

4、多工藝場(chǎng)景不用換設(shè)備，靈活適配省麻煩?

半導(dǎo)體生產(chǎn)環(huán)節(jié)多，光刻、蝕刻、封裝等不同工藝，對(duì)過濾器的要求不一樣：有的需要緊湊體積節(jié)省空間，有的需要大流量保障輸送，有的需要高壓適配工況。如果用普通過濾器，就得針對(duì)不同工藝換不同設(shè)備，不僅采購(gòu)成本高，還得頻繁調(diào)試，特別麻煩。?

深圳恒歌 TF 系列過濾器有三種類型，能精準(zhǔn)適配不同工藝場(chǎng)景。潔凈室空間小，就用 F 型直通式過濾器，體積比普通過濾器小 30%，輕松裝下;需要高壓工況，就用 T 型氣體過濾器，還能選裝底部旁通道，方便取樣和清洗，不用停工;大流量工藝環(huán)節(jié)，就用 W 型一體式過濾器，過濾面積大、流量系數(shù)高，壓力損耗還小，氣體輸送穩(wěn)定。某半導(dǎo)體新材料廠用了這三種過濾器后，覆蓋了從光刻膠涂覆到成品封裝的全流程，不用再為不同工藝換設(shè)備，調(diào)試方便，生產(chǎn)效率也提高了不少。?

對(duì)半導(dǎo)體企業(yè)來說，選對(duì)工藝氣體過濾器，就是解決生產(chǎn)中的實(shí)際麻煩、降低運(yùn)營(yíng)成本。深圳恒歌 TF 系列工藝氣體專用過濾器，從芯片良率、安裝工期、維護(hù)成本、場(chǎng)景適配等方面，幫企業(yè)實(shí)實(shí)在在解決問題，讓生產(chǎn)更穩(wěn)定、運(yùn)營(yíng)更省心，成為很多半導(dǎo)體企業(yè)長(zhǎng)期信賴的選擇。?