KF 系列真空系統(tǒng)氣體過濾器專為優(yōu)化真空系統(tǒng)運(yùn)行設(shè)計(jì)，具備便捷安裝特性，可快速適配各類真空設(shè)備，無需復(fù)雜調(diào)試流程，大幅降低現(xiàn)場施工難度。在回填環(huán)節(jié)中，能精準(zhǔn)實(shí)現(xiàn)清潔、快速且低湍流的氣體傳輸，避免氣流紊亂對(duì)工藝腔體內(nèi)部環(huán)境的干擾，直接助力提升產(chǎn)品產(chǎn)量與設(shè)備整體吞吐量，尤其適合高節(jié)奏生產(chǎn)場景。?

在規(guī)范安裝與正常操作條件下，產(chǎn)品展現(xiàn)出卓越的耐用性，可確保 3.000.000 次循環(huán)的完整運(yùn)行，無需頻繁更換，顯著減少設(shè)備停機(jī)維護(hù)時(shí)間。此外，過濾器兼容性廣泛，可覆蓋半導(dǎo)體領(lǐng)域核心應(yīng)用場景：包括化學(xué)氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)、刻蝕(Etch)、外延生長(Epi)等半導(dǎo)體設(shè)備接口，以及裝載鎖、傳輸腔、冷卻腔、工藝腔體等各類真空室的通風(fēng)需求，特別適配短時(shí)間內(nèi)傳遞大量氣體流的工況。?

產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 效率與產(chǎn)能保障?

低湍流設(shè)計(jì)：避免排氣時(shí)氣流紊亂影響工藝精度，減少因氣流問題導(dǎo)致的產(chǎn)品不良率，間接提升合格產(chǎn)品產(chǎn)出量;?

快速回填：縮短氣體回填周期，減少設(shè)備等待時(shí)間，助力生產(chǎn)線提升單位時(shí)間內(nèi)的運(yùn)行效率。?

2. 使用壽命與成本控制?

3.000.000 次循環(huán)壽命：遠(yuǎn)超普通過濾器的使用頻次，減少更換次數(shù)，降低耗材采購成本與人工維護(hù)成本;?

穩(wěn)定性能：長期運(yùn)行中性能無明顯衰減，避免因過濾器失效導(dǎo)致的工藝中斷，減少意外停機(jī)帶來的生產(chǎn)損失。?

3. 潔凈度與工藝適配?

潔凈室全流程管控：從制造、測試到包裝均在潔凈室環(huán)境中完成，杜絕外界雜質(zhì)污染，滿足半導(dǎo)體等高精度行業(yè)對(duì)潔凈度的嚴(yán)苛要求，避免因過濾器引入污染物影響產(chǎn)品質(zhì)量;?

多氣體適配：可兼容多種工藝氣體(如惰性氣體、反應(yīng)性氣體等)，無需針對(duì)不同氣體單獨(dú)定制，降低設(shè)備適配成本，適配多品類生產(chǎn)需求。?

4. 安裝與操作便捷性?

易安裝設(shè)計(jì)：標(biāo)準(zhǔn)化接口與簡易安裝流程，無需專業(yè)技術(shù)人員即可完成安裝，減少現(xiàn)場調(diào)試時(shí)間;?

100% 完整性測試：每臺(tái)產(chǎn)品出廠前均通過全檢，客戶無需額外檢測即可直接投入使用，降低驗(yàn)收環(huán)節(jié)的時(shí)間與人力成本。

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