實驗室氣路系統(tǒng)專用氣體過濾器丨電子特氣系統(tǒng)過濾器
實驗室氣路系統(tǒng)是科研、制藥和半導(dǎo)體研發(fā)中用于分配高純氣體的基礎(chǔ)設(shè)施,包括氣瓶、管路、閥門和分析儀器。系統(tǒng)要求氣體純度極高(如99.999%以上),以支持精密實驗如色譜分析、材料合成或微電子測試。氣路通常涉及多種氣體(如氧氣、氫氣),需避免交叉污染。設(shè)備緊湊性、安全性和低維護(hù)性是關(guān)鍵,尤其在潔凈室或高風(fēng)險環(huán)境中。
??為什么使用過濾器??
實驗室氣路中,氣體可能攜帶顆粒、水分或油分,干擾實驗結(jié)果或損壞昂貴儀器。例如,在色譜儀中,污染物可能導(dǎo)致基線漂移或柱失效;在半導(dǎo)體研發(fā)中,氣體不純可能影響器件測試準(zhǔn)確性。文檔指出,過濾器能攔截亞微米顆粒,防止管路堵塞和泄露,確保氣體一致性。OF系列在線式過濾器專為高流量電子級氣體設(shè)計,解決實驗室的供應(yīng)鏈困擾。
??過濾器介紹??
恒歌HENGKO的OF系列在線式氣體專用過濾器是實驗室氣路系統(tǒng)的理想選擇,過濾精度0.003μm,適用于大流量特種氣體供應(yīng)。其全焊接316L不銹鋼外殼與多數(shù)高純度氣體兼容,如惰性氣體和電子級氣體。結(jié)構(gòu)緊湊、強(qiáng)度高,支持在線安裝,便于集成到氣柜或歧管系統(tǒng)。設(shè)計專注于超純凈化,滿足實驗室對氣體純凈度的苛刻要求。
??過濾器特點??
??●?材料與密封??:整體316L不銹鋼結(jié)構(gòu),耐高溫高壓,工作壓力達(dá)207bar,溫度范圍-28°C至+482°C;100%氦氣檢漏測試確保密封性。
●???過濾效率??:超高顆粒攔截率,出口雜質(zhì)<5ppb;流量壓差曲線如Z01B-00712所示,作為系統(tǒng)壓力函數(shù)流量穩(wěn)定,高通量、低阻力。
●???安裝便捷??:可選多點在線安裝,減少系統(tǒng)停機(jī)時間;外形尺寸多樣,適配1/4″至1/2″接口。
●???可靠性??:通過完整性測試,適用于潔凈室制造,延長儀器壽命。
OF系列廣泛應(yīng)用于實驗室氣路系統(tǒng),如半導(dǎo)體研發(fā)中心的氣體分配歧管、制藥廠的儀器保護(hù)氣路,以及環(huán)保檢測設(shè)備的氣體凈化。在新能源實驗室,它用于氫氣燃料電池的氣體供應(yīng),確保安全高效。案例包括集成電路測試平臺,過濾器保障氣體純度,提高實驗重復(fù)性。文檔指出,該系列是實驗室實現(xiàn)超高純氣體的經(jīng)濟(jì)解決方案,助力健康與科技發(fā)展。








